准静态过程可以可逆,亦可不可逆。当过程中熵增加时,则为不可逆。反之,任何可逆过程都必为准静态。
但应注意若两物体间交换速率为一绝热的隔板所控制(Sears and Salinger,1986)-时,不论过程发生得如何缓慢,两个物体的状态都绝不会无限地趋近平衡态,因为热平衡需要两个物体具有绝对相同的温度。
在有些文献中,对于准静态过程及可逆过程是有些模糊不明的,且有时它们会被当做同义词(Lavenda,1978)。